Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 urn:nbn:de:swb:90-560218 KITopen-ID: 1000056021 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 26 |
Heft | 6 |
Seiten | 065002 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |