| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2040-8978 KITopen-ID: 1000056395 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Journal of Optics |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 18 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 064011/1-7 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |