| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-62841-971-9 KITopen-ID: 1000056775 |
| HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
| Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing X., San Francisco, California, United States, 13 - 18 February 2016. Ed.: U. Klotzbach |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 97361C/1-6 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9736 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |