| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000056780 |
| HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
| Erschienen in | Laser-Based Micro-and Nanoprocessing X; San Francisco; United States; 16 - 18 February 2016 Ed. U. Klotzbach |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 97361B |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9736 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |