Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000056780 |
HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
Erschienen in | Laser-Based Micro-and Nanoprocessing X; San Francisco; United States; 16 - 18 February 2016 Ed. U. Klotzbach |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 97361B |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9736 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |