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Integrated SMA-based NEMS actuator for optical switching

Lambrecht, Franziska; Aseguinolaza, Ivan; Chernenko, Volodymyr; Kohl, Manfred



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.2016.7421562
ISBN: 978-1-5090-1973-1
KITopen ID: 1000056902
Erschienen in MEMS 2016 : The 29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Shanghai, China, January 24-28, 2016. Ed.: H. Toshiyoshi
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 79-82
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