Hot-embossing replication of self-centering optical fiber alignment structures prototyped by deep proton writing
Ebraert, Evert; Wissmann, Markus 1; Guttmann, Markus
1; Kolew, Alexander 1; Worgull, Matthias 1; Barie, Nicole 1; Schneider, Marc 1; Hofmann, Andreas
1; Beri, Stefano; Watte, Jan; Thienpont, Hugo; Van Erps, Jürgen
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kolew, Alexander 1; Worgull, Matthias 1; Barie, Nicole 1; Schneider, Marc 1; Hofmann, Andreas
1; Beri, Stefano; Watte, Jan; Thienpont, Hugo; Van Erps, Jürgen1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0036-1860, 0091-3286, 1560-2303 KITopen-ID: 1000057513 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Optical engineering |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Band | 55 |
| Heft | 7 |
| Seiten | Art. Nr. 076112 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |