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Hot-embossing replication of self-centering optical fiber alignment structures prototyped by deep proton writing

Ebraert, Evert; Wissmann, Markus 1; Guttmann, Markus 1; Kolew, Alexander 1; Worgull, Matthias 1; Barie, Nicole 1; Schneider, Marc 1; Hofmann, Andreas ORCID iD icon 1; Beri, Stefano; Watte, Jan; Thienpont, Hugo; Van Erps, Jürgen
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/1.OE.55.7.076112
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Zitationen: 6
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0036-1860, 0091-3286, 1560-2303
KITopen-ID: 1000057513
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erschienen in Optical engineering
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Band 55
Heft 7
Seiten Art. Nr. 076112
Nachgewiesen in Scopus
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