| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000058084 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Micro-Optics 2016, Brussels, B, April 3, 2016. Ed. H. Thienpont |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 98880M |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9888 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |