Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000058084 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | Micro-Optics 2016, Brussels, B, April 3, 2016. Ed. H. Thienpont |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 98880M |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9888 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |