Tailored probes for atomic force microscopy fabricated by two-photon polymerization
Göring, Gerald 1; Dietrich, Philipp-Immanuel 2,3; Blaicher, Matthias 2,3; Sharma, Swati 3; Korvink, Jan G. 3; Schimmel, Thomas 4; Koos, Christian 2,3; Hölscher, Hendrik
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1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
31 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0003-6951, 1077-3118 KITopen-ID: 1000058126 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Applied physics letters |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 109 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 063101 |
| Projektinformation | HYPHEN (EU, H2020, 680916) |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |