Comparison of drum production methods for roll-to-roll nano imprint lithography

Baum, C.; Brecher, C.; Bastuck, T.; Guttmann, M.; Benkel, C.; Anden, T.; Johansson, A.; Gillner, A.; Fornatoli, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2016
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000058454
HGF-Programm	43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Veranstaltung	3rd Conference of Polymer Replication on Nanoscale (PRN 2016), Windisch, CH, May 19-20, 2016