Comparison of drum production methods for roll-to-roll nano imprint lithography
Baum, C.; Brecher, C.; Bastuck, T.; Guttmann, M.
; Benkel, C.; Anden, T.; Johansson, A.; Gillner, A.; Fornatoli, C.
; Benkel, C.; Anden, T.; Johansson, A.; Gillner, A.; Fornatoli, C.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000058454 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Veranstaltung | 3rd Conference of Polymer Replication on Nanoscale (PRN 2016), Windisch, CH, May 19-20, 2016 |