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Comparison of drum production methods for roll-to-roll nano imprint lithography

Baum, C.; Brecher, C.; Bastuck, T.; Guttmann, M.; Benkel, C.; Anden, T.; Johansson, A.; Gillner, A.; Fornatoli, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000058454
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in 3rd Conference of Polymer Replication on Nanoscale (PRN 2016), Windisch, CH, May 19-20, 2016
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