| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-7723-7040-3 KITopen-ID: 1000059121 |
| Erschienen in | Micro system technologies 2005 : International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto Nano Systems, München, October 5 - 6, 2005 |
| Verlag | Franzis |
| Seiten | 586-589 |