| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 03.1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000059166 |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 24 |
| Heft | 1-4 |
| Seiten | 259-270 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | EOBT93, Zürich, 1.-3. September 1993 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus Web of Science |