Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 03.1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000059166 |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 24 |
Heft | 1-4 |
Seiten | 259-270 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | EOBT93, Zürich, 1.-3. September 1993 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |