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Reliable EBT Fine Positioning Using Correlation-Based Window Adjustment

Scharf, R.; Wolz, W.; Mueller-Glaser, K. D.; Seitzer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/0167-9317(94)90066-3
ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen ID: 1000059167
Erschienen in Microelectronic engineering
Band 24
Heft 1-4
Seiten 155-162
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