Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000059167 |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 24 |
Heft | 1-4 |
Seiten | 155-162 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |