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Reliable EBT Fine Positioning Using Correlation-Based Window Adjustment

Scharf, R.; Wolz, W.; Mueller-Glaser, K. D. 1; Seitzer, D.
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0167-9317(94)90066-3
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Zitationen: 1
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen-ID: 1000059167
Erschienen in Microelectronic engineering
Verlag Elsevier
Band 24
Heft 1-4
Seiten 155-162
Nachgewiesen in Web of Science
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