| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000059171 |
| Erschienen in | Proceedings. 3. Symposium Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17./18. Februar 1993 |