Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000059171 |
Erschienen in | Proceedings. 3. Symposium Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17./18. Februar 1993 |