Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 3-00-016889-3 KITopen-ID: 1000059203 |
Erschienen in | Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik ; 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005 |
Verlag | Techn. Univ. |
Seiten | 105-108 |