Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 3-8007-2058-2 KITopen-ID: 1000059228 |
Erschienen in | Micro-system technologies '94 : 4th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19 - 21, 1994. Ed.: H. Reichl |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 1160-1162 |