| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2058-2 KITopen-ID: 1000059228 |
| Erschienen in | Micro-system technologies '94 : 4th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19 - 21, 1994. Ed.: H. Reichl |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 1160-1162 |