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Helium ion microscopy - a new tool for imaging at the nanoscale

Schwaiger, Ruth



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000059458
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erschienen in 5th XPS Workshop 'Fundamentals and Applications of Surface Analysis', Karlsruhe, June 22-24, 2016
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