Glimmentladungsspektroskopie (GD-OES) zur tiefenaufgelösten Elementanalytik an PVD-Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-595204 KITopen-ID: 1000059520 |
| HGF-Programm | 37.01.04 (POF II, LK 01) |
| Veranstaltung | 18.Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA), Kaiserslautern, 29.September - 1.Oktober 2014 |