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Glimmentladungsspektroskopie (GD-OES) zur tiefenaufgelösten Elementanalytik an PVD-Schichten

Rinke, Monika; Strafela, Marc; Spitz, Stefanie; Ulrich, Sven

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000059520
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Poster
Jahr 2014
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-595204
KITopen-ID: 1000059520
HGF-Programm 37.01.04 (POF II, LK 01)
Veranstaltung 18.Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA), Kaiserslautern, 29.September - 1.Oktober 2014
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