A Monte Carlo study of the primary absorbed energy redistribution in X-ray lithography
Meyer, P.
1; Pantenburg, F. J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Pantenburg, F. J. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000059551 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Heft | 10-11 |
| Seiten | 1881-1889 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |