Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000059551 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 20 |
Heft | 10-11 |
Seiten | 1881-1889 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |