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Aufbau und Eigenschaften von PVD-Hartstoffschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N

Spitz, Stefanie Charlotte

Abstract:
Diese Arbeit beschreibt die Charakterisierung oxidischer PVD-Dünnschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N, die mittels Hochleistungskathodenzerstäubens und unter Anwendung eines experimentellen materialkombinatorischen Ansatzes abgeschieden wurden. In Abhängigkeit der Zusammensetzung und der variierten Abscheideparameter treten hauptsächlich vier Phasen auf: eine Cr2O3-basierte Phase sowie drei ZrO2-basierte Phasen.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000059633
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2016
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-596336
KITopen-ID: 1000059633
HGF-Programm 34.13.02 (POF III, LK 01)
Verlag KIT, Karlsruhe
Umfang XXXVI, 251 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Prüfungsdaten 18.05.2016
Prüfungsdatum 18.05.2016
Referent/Betreuer Prof. H. J. Seifert
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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