Aufbau und Eigenschaften von PVD-Hartstoffschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N
Abstract:
Diese Arbeit beschreibt die Charakterisierung oxidischer PVD-Dünnschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N, die mittels Hochleistungskathodenzerstäubens und unter Anwendung eines experimentellen materialkombinatorischen Ansatzes abgeschieden wurden. In Abhängigkeit der Zusammensetzung und der variierten Abscheideparameter treten hauptsächlich vier Phasen auf: eine Cr2O3-basierte Phase sowie drei ZrO2-basierte Phasen.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-596336 KITopen-ID: 1000059633 |
| HGF-Programm | 34.13.02 (POF III, LK 01) Portfolio Material zukünftige Energief. |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | XXXVI, 251 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Prüfungsdaten | 18.05.2016 |
| Prüfungsdatum | 18.05.2016 |
| Referent/Betreuer | Seifert, H. J. |