| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-162841985-6 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000059762 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Integrated Optics: Devices, Materials, and Technologies XX : San Francisco, California, USA, 15 - 17 February 2016 |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Paper 97500T, 8 S. |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9750 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |