Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-162841985-6 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000059762 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Integrated Optics: Devices, Materials, and Technologies XX : San Francisco, California, USA, 15 - 17 February 2016 |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Paper 97500T, 8 S. |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9750 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |