| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5090-1467-5 ISSN: 2161-2064 KITopen-ID: 1000059835 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | 18th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON), Trento, Italy, 2016 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Serie | Conference proceedings |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |