| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1996-1944 urn:nbn:de:swb:90-599525 KITopen-ID: 1000059952 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Materials |
| Verlag | MDPI |
| Band | 9 |
| Heft | 8 |
| Seiten | Art.Nr.:636 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Web of Science Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |