Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-62841-995-5 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000060203 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | MOEMS and Miniaturized Systems XV; San Francisco; United States; 15 February 2016 through 17 February 2016 |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Art.Nr. 97600W |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9760 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |