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Zwei-Photonen-Lithografie zur Herstellung optofluidischer Systeme

Eschenbaum, Carsten

Abstract:
In dieser Arbeit wurden unterschiedliche Verfahren zur Strukturierung mittels 2PP entwickelt. Diese Verfahren nutzen entweder optische Antennen oder eine doppelte Belichtung, um immer kleinere Strukturgrößen zu realisieren. So konnte mit der Doppelbelichtung die Linienbreite auf 75nm gesenkt werden. Im Gegensatz dazu, wurde ein Hybrid-Lithografie-Verfahren entwickelt, wodurch die dreidimensionale Nanostrukturierung mit einer großflächigen Mikrostrukturierung kombiniert werden konnte.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000060244
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Zugehörige Institution(en) am KIT Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2016
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-602441
KITopen-ID: 1000060244
Verlag KIT, Karlsruhe
Umfang VIII, 156 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT)
Institut Lichttechnisches Institut (LTI)
Prüfungsdaten 04.02.2016
Referent/Betreuer Prof. U. Lemmer
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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