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Hexagonal arrays of round-head silicon nanopillars for surface anti-reflection applications

Yan, W.; Dottermusch, S.; Reitz, C.; Richards, B. S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1063/1.4963912
ISSN: 0003-6951
KITopen ID: 1000060539
HGF-Programm 43.23.03; LK 01
Erschienen in Applied physics letters
Band 109
Heft 14
Seiten 143901
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