| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2469-9950, 2469-9969, 0163-1829, 0556-2805, 1094-1622, 1095-3795, 1098-0121, 1550-235X KITopen-ID: 1000060929 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physical review / B |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 94 |
| Heft | 10 |
| Seiten | Art.Nr.: 100105 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |