Zugehörige Institution(en) am KIT | Physikalisches Institut (PHI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000061341 |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 61-2 |
Seiten | 517-522 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |