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Resistless patterning of quantum nanostructures by local anodization with an atomic force microscope

Bouchiat, V.; Faucher, M.; Fournier, T.; Pannetier, B.; Thirion, C.; Wernsdorfer, W.; Clement, N.; Tonneau, D.; Dallaporta, H.; Safarov, S.; Villegier, JC; Fraboulet, D.; Mariolle, D.; Gautier, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/S0167-9317(02)00524-5
ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen ID: 1000061341
Erschienen in Microelectronic engineering
Band 61-2
Seiten 517-522
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