Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-6951, 1077-3118 KITopen-ID: 1000061492 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied physics letters |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 109 |
Heft | 14 |
Seiten | 141102 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |