KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Deep proton writing with 12 MeV protons for rapid prototyping of microstructures in polymethylmethacrylate

Ebraert, Evert; Gökçe, Berkcan; Van Vlierberghe, Sandra; Vervaeke, Michael; Meyer, Pascal; Guttmann, Markus; Dubruel, Peter; Thienpont, Hugo; Van Erps, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/1.JMM.15.4.044501
ISSN: 1537-1646, 1932-5134, 1932-5150
KITopen ID: 1000061572
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS
Band 15
Heft 4
Seiten 044501
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page