Deep proton writing with 12 MeV protons for rapid prototyping of microstructures in polymethylmethacrylate
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1537-1646, 1932-5134, 1932-5150 KITopen-ID: 1000061572 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Erschienen in | Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Band | 15 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 044501 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |