| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1862-6300, 0031-8965, 1521-396X, 1862-6319 KITopen-ID: 1000061702 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physica status solidi / A |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 213 |
| Heft | 8 |
| Seiten | 2075–2080 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus Web of Science |