Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1862-6300, 0031-8965, 1521-396X, 1862-6319 KITopen-ID: 1000061702 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physica status solidi / A |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 213 |
Heft | 8 |
Seiten | 2075–2080 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |