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Reliability characterization of a soot particle sensor: Analysis of stress- and electromigration in thin-film platinum

Rusanov, R.; Graf, J.; Rank, H.; Fuchs, T.; Mueller-Fiedler, R.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Computational Materials Science (IAM-CMS)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/DTIP.2014.7056639
ISBN: 978-1-4799-3221-4
KITopen ID: 1000061707
Erschienen in 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2014); Cannes, France, April 1 - 4, 2014
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten Art.Nr.: 7056639
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