Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5090-1871-0 urn:nbn:de:swb:90-622698 KITopen-ID: 1000062269 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | Joint IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics, European Conference on Application of Polar Dielectrics, and Piezoelectric Force Microscopy Workshop (ISAF/ECAPD/PFM), Darmstadt, Germany, 21-25 August 2016 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1-4 |
Schlagwörter | PZT; MEMS; DoE; piezoelectric, model |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |