| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000062347 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 26 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 115010/1-10 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |