| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000062382 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | ix, 206 SS. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Prüfungsdaten | 11.02.2016 |
| Referent/Betreuer | Siegel, M. |