Challenges in quantitative crystallographic characterization of 3D thin films by ACOM-TEM
Kobler, A. 1; Kübel, C.
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1 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 02.2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0304-3991, 1879-2723 KITopen-ID: 1000062487 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Ultramicroscopy |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 173 |
| Seiten | 84-94 |
| Vorab online veröffentlicht am | 05.07.2016 |
| Schlagwörter | 2014-013-004780 FIB TEM |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |