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Challenges in quantitative crystallographic characterization of 3D thin films by ACOM-TEM

Kobler, A. 1; Kübel, C. ORCID iD icon 1
1 Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.ultramic.2016.07.007
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Zitationen: 23
Web of Science
Zitationen: 21
Dimensions
Zitationen: 28
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 02.2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0304-3991, 1879-2723
KITopen-ID: 1000062487
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Ultramicroscopy
Verlag Elsevier
Band 173
Seiten 84-94
Vorab online veröffentlicht am 05.07.2016
Schlagwörter 2014-013-004780 FIB TEM
Nachgewiesen in Web of Science
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