Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0556-2791, 1050-2947, 1094-1622, 2469-9926, 2469-9934 KITopen-ID: 1000062879 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / A |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 94 |
Heft | 5 |
Seiten | 053822 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |