| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0556-2791, 1050-2947, 1094-1622, 2469-9926, 2469-9934 KITopen-ID: 1000063069 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physical review / A |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 94 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 053844 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |