Direct Observation of the Thickness-Induced Crystallization and Stress Build-Up during Sputter-Deposition of Nanoscale Silicide Films
Krause, Bärbel
1; Abadias, Gregory; Michel, Anny; Wochner, Peter; Ibrahimkutty, Shyjumon; Baumbach, Tilo 1,2
1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Abadias, Gregory; Michel, Anny; Wochner, Peter; Ibrahimkutty, Shyjumon; Baumbach, Tilo 1,21 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1944-8244, 1944-8252 KITopen-ID: 1000064748 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Erschienen in | ACS applied materials & interfaces |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 8 |
| Heft | 50 |
| Seiten | 34888–34895 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |