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Laser micro-fabrication of concave, low-roughness features in silica

Hunger, D. ORCID iD icon; Deutsch, C.; Barbour, R. J.; Warburton, R. J.; Reichel, J.


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.3679721
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Zitationen: 112
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Zitationen: 129
Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2158-3226
KITopen-ID: 1000064879
Erschienen in AIP Advances
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 2
Seiten 012119
Nachgewiesen in Dimensions
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