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Development of Shape Memory Alloy - Si Bimorph Nanoactuators

Lambrecht, Franziska

Belonging to the group of Smart Materials, Shape Memory Alloys (SMAs) generate large work outputs per volume density, especially in small dimensions. Furthermore, they exhibit multifunctional performance and provide biocompatibility. Hence, shape memory alloys are predestined for applications on the nanoscale. This work presents the fabrication, characterization of NiMnGa/Si bimorph double beam nanoactuators and their integration within a Si-photonics on-chip waveguide structure.

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DOI: 10.5445/IR/1000065104
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-651049
KITopen-ID: 1000065104
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01)
Functionality by Design
Verlag KIT, Karlsruhe
Umfang XV, 123 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 16.12.2016
Referent/Betreuer Prof. M. Kohl
Schlagwörter Shape Memory Alloy, Bimorph, Nano, Actuator
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