Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Angewandte Informatik (IAI) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0034-6748, 1089-7623 KITopen-ID: 1000065507 |
HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) |
Erschienen in | Review of scientific instruments |
Band | 88 |
Heft | 1 |
Seiten | 015104 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | http://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/1.4973632 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |