| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Toxikologie und Genetik (ITG) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2166-532X urn:nbn:de:swb:90-657519 KITopen-ID: 1000065751 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | APL materials |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 5 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 053101 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |