Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Toxikologie und Genetik (ITG) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2166-532X urn:nbn:de:swb:90-657519 KITopen-ID: 1000065751 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | APL materials |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 5 |
Heft | 5 |
Seiten | 053101 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |