Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-943580-11-8 KITopen-ID: 1000066983 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO 2016), San Jose, CA, June 5-10, 2016. OSA Technical Digest |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Seiten | FM4B.4 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |