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Weiterentwicklung von Dünnschichtsensoren

Albers, A.; Beauvais; Bsul; Burger



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-18-092011-5
KITopen ID: 1000067076
Erschienen in Sensoren und Messsysteme 2008, 14. GMA/ITG-Fachtagung, Ludwigsburg, 11. - 12. März, 2008
Verlag VDI, Düsseldorf
Serie VDI-Berichte ; 2011
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