Weiterentwicklung von Dünnschichtsensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-18-092011-5 KITopen-ID: 1000067076 |
| Erschienen in | Sensoren und Messsysteme 2008, 14. GMA/ITG-Fachtagung, Ludwigsburg, 11. - 12. März, 2008 |
| Verlag | VDI Fachmedien |
| Serie | VDI-Berichte ; 2011 |