3D optical laser lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-94-024-0848-5 ISSN: 1874-6500 KITopen-ID: 1000067561 |
| Erschienen in | Nano-Optics: Principles Enabling Basic Research and Applications. Ed.: B. Di Bartolo |
| Verlag | Springer Netherlands |
| Seiten | 143-148 |
| Serie | NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Nano-Optics: Principles Enabling Basic Research and Applications, Erice, I, July 4-19, 2015 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |