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Direct laser writing of 3D nanostructures using a 405nm laser diode

Mueller, P. 1; Thiel, M.; Wegener, M. 2
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/978-94-024-0850-8_38
Zugehörige Institution(en) am KIT Center for Functional Nanostructures (CFN)
Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-94-024-0848-5
ISSN: 1874-6500
KITopen-ID: 1000067565
HGF-Programm 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy
Erschienen in Nano-Optics: Principles Enabling Basic Research and Applications. Ed.: B. Di Bartolo
Verlag Springer Netherlands
Seiten 469
Serie NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
Bemerkung zur Veröffentlichung Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Nano-Optics:

Principles Enabling Basic Research and Applications, Erice, I, July 4-19, 2015
Nachgewiesen in Scopus
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