Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000067629 |
Veranstaltung | 9th High Aspect Ratio Micro Structure Technology Conference, HARMST 2011, Taiwan, June 12-18, 2011 |