| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0003-3146, 1438-7492, 1439-2054, 1522-9505 KITopen-ID: 1000067782 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Macromolecular materials and engineering |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 301 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 9-35 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |