Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-3146, 1438-7492, 1439-2054, 1522-9505 KITopen-ID: 1000067782 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Macromolecular materials and engineering |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 301 |
Heft | 1 |
Seiten | 9-35 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |