Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-5090-1906-9 KITopen-ID: 1000067860 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | 2016 IEEE Photonics Conference (IPC), Waikoloa, Hawaii, October 2-6, 2016 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 408-409 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |