| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5090-1906-9 KITopen-ID: 1000067860 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | 2016 IEEE Photonics Conference (IPC), Waikoloa, Hawaii, October 2-6, 2016 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 408-409 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |