Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000067955 |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 16 |
Heft | 8-9 |
Seiten | 1517–1527 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Microsystem Technologies - Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |