| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000067955 |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 8-9 |
| Seiten | 1517–1527 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Microsystem Technologies - Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions Web of Science |